『壹』 愛德華真空泵ih600使用說明書
iH600 乾式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
概述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照最高工作標准運行。通過延長使用壽命、提高運行時間並提高生產率,同時最大程度地減小佔地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執行的製程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 製程)提供了高可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 製程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 乾式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 乾式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
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iH600 乾式泵 380/415V,50 Hz,3 相
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iH600 乾式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957
功能和優勢
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便於顆粒的處理。
在節省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的製造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要並消除了顆粒堆積,從而降低了總體佔地面積。
技術數據
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
極限真空 7 x 10-4mbar
5.3 x 10-4Torr
0.07 Pa
典型軸封氮流量 4 slm
進氣口連接 ISO100
出口連接 NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
極限功率輸入 3.4 kW
電機額定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有數字均為無氣鎮時的典型值。
性能
1 進氣口
2 出口
3 抽風口
4 變頻器箱(僅限 iH1000)
『貳』 求介紹一家正規的愛德華Edwards真空泵銷售公司,急需,感謝!
產品的質量和售後服務都挺好的。
『叄』 愛德華真空泵RV12多少錢
小泵,不清楚!你可以到阿里巴巴看下!
『肆』 愛德華真空泵維修保養內容有哪些
愛德華真空泵維修保養問題:維護周期一般為3-5天,包括清洗、維修、組裝和主要測試機器等過程!復雜結構和高真空泵的維護周期將延長,通常約7-15天。普諾克真空泵維修:只有在確認真空度符合要求後,測試機正常後,才會正式送到客戶的手中。愛德華真空泵維修保養時需要更換新的真空泵油,在更換真空泵油和濾油器時,若是發現油被污染、變黑、乳化或變稠,應及時更換。在更換機油的同時,應更換機油濾清器。請在添加新油之前清洗泵。
愛德華真空泵清洗和換油步驟:停止泵並排出熱油;擰上放油塞,運行5-10秒,並完全排干油。將清潔油(32號普通機油)注入油窗高度的3/4處;運行真空泵5-10分鍾;停止泵並排出油。如果排出的油仍然混濁,不符合要求,重復步驟3和4,直到排出的油是透明的;擰上放油塞,運行5-10秒鍾;徹底排干油;注入指定的新油。
愛德華真空泵維修保養時,需要清洗吸濾器。真空泵的吸入濾網應保持清潔,以防止泵速下降。更換排氣過濾器如果泵溫度明顯上升,電機電流達到或超過額定電流,泵排氣口產生油煙,檢查排氣過濾器是否堵塞,堵塞及時更換。排氣壓力表可安裝在泵加註孔處,以檢查過濾器是否堵塞。當壓力超過0.6巴(表壓)時,可以更換排氣過濾器。
如果長時間不使用愛德華真空泵,排空所有油並清洗泵,然後注入指定的新油並將其放在乾燥的地方。如果在寒冷潮濕的環境中使用,或者在去除弱酸性氣體的環境中使用,愛德華真空泵將在停機前泵入一定量的乾燥空氣。如遇突然斷水,應在斷水後立即停泵,否則會卡泵或電機過熱燒毀。泵工作時不要頻繁啟停,這會影響泵的使用壽命。
『伍』 愛德華真空泵是哪裡廠家
愛德華是英國品牌,應該是英國和美國生產
『陸』 咨詢關於愛德華真空泵
您好,實際上我的專業僅僅和真空沾點邊,畢業之後在真空行業工作一年,而且現在也不在真空這個行業裡面工作了。不過也是有一些了解的。
首先真空泵本身,真空泵有很多種,主要分為高中低真空泵:低真空的泵國產比較多,除了一些要求無油潤滑的真空泵,用的進口比較多。這類的泵愛德華比較多。中真空比較多的是羅茨泵,羅茨泵國內和進口都有,國內基礎的也做得也還好。高真空泵是一些專業真空設備的核心組件之一,主要分為擴散泵、復合分子泵、低溫泵等。
擴散泵就是一個噴泉,利用熱油噴射帶走氣體。現在國產的擴散泵比較多也比較好用。
復合分子泵是唯一一種可以達到高真空的機械泵。主要利用高速旋轉的葉輪將分子單向排出。國產的以泰岳恆等牌子為主,但是好一點的都是用萊寶的。
低溫泵是通過極低溫(一般為10K以下),捕捉分子,讓分子不在真空室內自由移動。這種泵好像還是萊寶用的多。
我們廠當時主要是買泵裝配賣成套設備的。所以獨立的泵方面只做過擴散泵。主要是泵殼成型焊接,泵芯製作,盤管(夾套)製作,底座加工,全套組裝,加油,上電測試等,具體真空泵都有自己的特點。
給你個建議吧,真空泵廠家都有自己的產品資料,去官網看看吧,產品選型手冊很厚一本的,只是很多產品和國內比性價比不高,國內不常用罷了。
『柒』 愛德華Edwards真空泵在上海哪些公司有做
是原裝進口的。
『捌』 愛德華真空泵漏油怎麼維修
如果真空泵泵油漏的厲害,就需要更換真空泵的油封,密封件。
密封件老化了,起不到密封的效果,產生了漏油;
2.排氣過濾器失效了,起不到排除油氣分離的作用;
3.真空泵的回油管是不是堵上了這種情況伴隨的還會出現噪音異常,真空度達不到原來的水平;
4.真空泵油是不是乳化了,這種也會出現噪音增大的情況;
以上真空泵出現的問題解決辦法是:
更換密封件,排氣過濾器,疏通回油管,檢查真空泵油的顏色,如果顏色呈黑色或者其他不純凈的顏色都應該換油了.以上問題都還解決不了愛德華真空泵維修漏油的問題,就應該找正規的維修真空泵的廠家為您服務了,您可以在網上搜一下(蘇州美歐),專業維修普旭,萊寶,愛德華,阿爾卡特等進口真空泵的,技術挺不錯的.
『玖』 求國內真空製造商排名,或者做得比較好比較正規的真空泵製造商排名,國際真空泵排名!
萊寶真空,ULVAC,丸山真空,愛德華,浦發真空,大阪真空
『拾』 國內哪家修EDWARDS愛德華真空泵比較好
愛德華真空泵,目前國內有許多真空泵廠生產企業都可以維修。比如鹽城博碩真空公司就維修過許多我們用的真空泵,品牌有國內上真的、浙真的;國外有里其樂、愛發科、萊寶、愛德華等品牌的真空泵。感覺比原廠維修點的價錢便宜若干倍,質量目前用起來還可以,基本上都沒有出現什麼問題。