『壹』 爱德华真空泵ih600使用说明书
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
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功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
技术数据
峰值速度 600 m3h-1
353 cfm
10000 l min-1
极限真空 7 x 10-4mbar
5.3 x 10-4Torr
0.07 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 415 kg
极限功率输入 3.4 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.43 l
所有数字均为无气镇时的典型值。
性能
1 进气口
2 出口
3 抽风口
4 变频器箱(仅限 iH1000)
『贰』 求介绍一家正规的爱德华Edwards真空泵销售公司,急需,感谢!
产品的质量和售后服务都挺好的。
『叁』 爱德华真空泵RV12多少钱
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『肆』 爱德华真空泵维修保养内容有哪些
爱德华真空泵维修保养问题:维护周期一般为3-5天,包括清洗、维修、组装和主要测试机器等过程!复杂结构和高真空泵的维护周期将延长,通常约7-15天。普诺克真空泵维修:只有在确认真空度符合要求后,测试机正常后,才会正式送到客户的手中。爱德华真空泵维修保养时需要更换新的真空泵油,在更换真空泵油和滤油器时,若是发现油被污染、变黑、乳化或变稠,应及时更换。在更换机油的同时,应更换机油滤清器。请在添加新油之前清洗泵。
爱德华真空泵清洗和换油步骤:停止泵并排出热油;拧上放油塞,运行5-10秒,并完全排干油。将清洁油(32号普通机油)注入油窗高度的3/4处;运行真空泵5-10分钟;停止泵并排出油。如果排出的油仍然混浊,不符合要求,重复步骤3和4,直到排出的油是透明的;拧上放油塞,运行5-10秒钟;彻底排干油;注入指定的新油。
爱德华真空泵维修保养时,需要清洗吸滤器。真空泵的吸入滤网应保持清洁,以防止泵速下降。更换排气过滤器如果泵温度明显上升,电机电流达到或超过额定电流,泵排气口产生油烟,检查排气过滤器是否堵塞,堵塞及时更换。排气压力表可安装在泵加注孔处,以检查过滤器是否堵塞。当压力超过0.6巴(表压)时,可以更换排气过滤器。
如果长时间不使用爱德华真空泵,排空所有油并清洗泵,然后注入指定的新油并将其放在干燥的地方。如果在寒冷潮湿的环境中使用,或者在去除弱酸性气体的环境中使用,爱德华真空泵将在停机前泵入一定量的干燥空气。如遇突然断水,应在断水后立即停泵,否则会卡泵或电机过热烧毁。泵工作时不要频繁启停,这会影响泵的使用寿命。
『伍』 爱德华真空泵是哪里厂家
爱德华是英国品牌,应该是英国和美国生产
『陆』 咨询关于爱德华真空泵
您好,实际上我的专业仅仅和真空沾点边,毕业之后在真空行业工作一年,而且现在也不在真空这个行业里面工作了。不过也是有一些了解的。
首先真空泵本身,真空泵有很多种,主要分为高中低真空泵:低真空的泵国产比较多,除了一些要求无油润滑的真空泵,用的进口比较多。这类的泵爱德华比较多。中真空比较多的是罗茨泵,罗茨泵国内和进口都有,国内基础的也做得也还好。高真空泵是一些专业真空设备的核心组件之一,主要分为扩散泵、复合分子泵、低温泵等。
扩散泵就是一个喷泉,利用热油喷射带走气体。现在国产的扩散泵比较多也比较好用。
复合分子泵是唯一一种可以达到高真空的机械泵。主要利用高速旋转的叶轮将分子单向排出。国产的以泰岳恒等牌子为主,但是好一点的都是用莱宝的。
低温泵是通过极低温(一般为10K以下),捕捉分子,让分子不在真空室内自由移动。这种泵好像还是莱宝用的多。
我们厂当时主要是买泵装配卖成套设备的。所以独立的泵方面只做过扩散泵。主要是泵壳成型焊接,泵芯制作,盘管(夹套)制作,底座加工,全套组装,加油,上电测试等,具体真空泵都有自己的特点。
给你个建议吧,真空泵厂家都有自己的产品资料,去官网看看吧,产品选型手册很厚一本的,只是很多产品和国内比性价比不高,国内不常用罢了。
『柒』 爱德华Edwards真空泵在上海哪些公司有做
是原装进口的。
『捌』 爱德华真空泵漏油怎么维修
如果真空泵泵油漏的厉害,就需要更换真空泵的油封,密封件。
密封件老化了,起不到密封的效果,产生了漏油;
2.排气过滤器失效了,起不到排除油气分离的作用;
3.真空泵的回油管是不是堵上了这种情况伴随的还会出现噪音异常,真空度达不到原来的水平;
4.真空泵油是不是乳化了,这种也会出现噪音增大的情况;
以上真空泵出现的问题解决办法是:
更换密封件,排气过滤器,疏通回油管,检查真空泵油的颜色,如果颜色呈黑色或者其他不纯净的颜色都应该换油了.以上问题都还解决不了爱德华真空泵维修漏油的问题,就应该找正规的维修真空泵的厂家为您服务了,您可以在网上搜一下(苏州美欧),专业维修普旭,莱宝,爱德华,阿尔卡特等进口真空泵的,技术挺不错的.
『玖』 求国内真空制造商排名,或者做得比较好比较正规的真空泵制造商排名,国际真空泵排名!
莱宝真空,ULVAC,丸山真空,爱德华,浦发真空,大阪真空
『拾』 国内哪家修EDWARDS爱德华真空泵比较好
爱德华真空泵,目前国内有许多真空泵厂生产企业都可以维修。比如盐城博硕真空公司就维修过许多我们用的真空泵,品牌有国内上真的、浙真的;国外有里其乐、爱发科、莱宝、爱德华等品牌的真空泵。感觉比原厂维修点的价钱便宜若干倍,质量目前用起来还可以,基本上都没有出现什么问题。